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ASML去年宣布在臺灣擴大投資，計劃在林口建廠，第一期投資金額達300億新臺幣，約2000名員工入駐。不僅如此，ASML去年還向臺“經(jīng)濟部”提交申請，提出了針對2納米晶圓光學(xué)測量設(shè)備的研發(fā)補助方案，經(jīng)濟部已經(jīng)受理審查，根據(jù)規(guī)定，一旦通過審查，政府補助比例不會超過50%。臺“經(jīng)濟部”的“A+企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)淬煉計劃”旨在補助企業(yè)進行創(chuàng)新研發(fā)和前瞻產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)，每年預(yù)算約20億新臺幣（指股網(wǎng)備注：當(dāng)前約4.5億元人民幣），該計劃吸引了國際大廠來臺研發(fā)生產(chǎn)，并幫助該地區(qū)企業(yè)打入前端設(shè)備的供應(yīng)鏈。